中国光刻机巨头崛起，18年攒下3380项专利，拿下国内90％市场

我国在光刻机领域的表现，虽然远不及ASML、佳能、尼康等，但也并非一片空白。成立于2002年3月份的上海微电子，便是我国唯一的光刻机巨头。在长达18年的时间里，上海微电子默默耕耘，为国产光刻机带来了曙光。

在近来揭晓的“上海知识产权创新奖”名单中，上海微电子便成功在列，证明了自身的实力。

上海微电子先后承接了国家863重大科技专项、国家02专项等，推动了我国科技进步。上海微电子拥有金属掩膜测量设备、光配向设备等众多产品，但上海微电子最令人瞩目的，当属光刻机设备。

目前，上海微电子已经打造出了，可用在8寸线、12寸线大规模工业生产中的600系列光刻机，有了长足的进步。

值得注意的是，上海微电子的封装光刻机产品，拿下了中国大陆90%以上的市场；而在国际市场中，上海微电子市占比也成功超过40%。而上海微电子的LED光刻机，也占据了高达75%的全球份额，表现出众。

目前，上海微电子已经成为中国唯一具备制造多领域、多品种产线应用的高端光刻机供应商。但不得不承认的是，上海微电子产品与国际一流之间，还有着不小的差距。

但是，上海微电子能在海外技术封锁之下，突出重围取得如今的成就，已是十分不易。上海微电子从成立，到首台封装光刻机产品交付，用了将近7年的时间，可见其中艰难。

在2012年，上海微电子成功实现了封装光刻机外销，又成功向前迈进了一大步。据了解，上海微电子在2019年的出货预估量，已经达到了50台以上，与以往有了长足的进步。

在多年来的发展中，上海微电子逐渐形成了自己的技术壁垒，为公司发展提供科技制程。到今年6月，上海微电子的累计申请专利量已经达到3380多项，其中超85%为发明专利。

可以看出，上海微电子多年来的努力，已经有了一定的成果。

目前，中国芯片产业迎来快速发展的阶段，我国在光刻机领域的短板，也更尖锐的显露出来。由此，作为我国唯一光刻机巨头的上海微电子，被寄予厚望。

同时，中科院也将光刻机加入了科研名单之中，推动中国光刻机的崛起。在科研机构与企业共同努力之下，希望国产光刻机能早日实现突破。